一、產(chǎn)品特點(diǎn)及用途

1.產(chǎn)品特點(diǎn)

該設(shè)備是一種新型工業(yè)級(jí)干燥設(shè)備，采用長(zhǎng)軸耐高溫大功率軸流風(fēng)機(jī)，不銹鋼渦輪扇葉，結(jié)合獨(dú)特設(shè)計(jì)風(fēng)道，智能PID溫控器結(jié)合SSR固態(tài)繼電器控制高效不銹鋼發(fā)熱器加熱，形成溫度均勻的高溫?zé)犸L(fēng)，對(duì)箱體內(nèi)部進(jìn)行加熱，確保烘箱內(nèi)部達(dá)到理想的溫度環(huán)境。

2. 產(chǎn)品用途

產(chǎn)品廣泛應(yīng)用晶圓片的硬烤、軟烤，LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室、航天航空等眾多工業(yè)領(lǐng)域的預(yù)熱、老化、烘烤、熱固化、淬火去應(yīng)力等工藝。

二、產(chǎn)品詳細(xì)參數(shù)

1.箱體結(jié)構(gòu)

1.1.內(nèi)部材質(zhì)：采用SUS304 1.5mm厚之鏡面不銹鋼板，滿焊處理，并經(jīng)堿性蘇打水清潔，去油污避免烘烤時(shí)產(chǎn)生 PARTICLE。

1.2.外部材質(zhì)：外部采用1.2mm厚優(yōu)質(zhì)冷軋鋼板經(jīng)防銹處理后噴塑，耐刮傷，造型美觀。

1.3.保溫材質(zhì)：采用100K高級(jí)保溫棉，六面保溫?cái)酂?，保溫厚度?0mm-120mm，保溫性能好。

1.4. 箱門結(jié)構(gòu)：箱門于箱體結(jié)合處采用耐高溫硅橡膠條密封迫緊，保溫性能好，抗老化，環(huán)保無污染。

1.5. 載物層架：可根據(jù)物品大小調(diào)節(jié)層間距，空間利用率高。

2. 溫度控制系統(tǒng)：采用日臺(tái)灣威綸通PLC+7寸彩色觸摸屏人機(jī)交互界面，定值/程序（程控100段）兩種控制模式，帶傳感器斷線報(bào)警功能，帶超溫警報(bào)保護(hù)功能，確保產(chǎn)品運(yùn)行安全。

3. 控溫方式

3.1.訊號(hào)來源：采日制進(jìn)口CA感應(yīng)棒±0.5%。

3.2.輸出被控組件：SSR固態(tài)無節(jié)點(diǎn)輸出，確保加熱功率精準(zhǔn)。

4. 箱內(nèi)熱風(fēng)循環(huán)系統(tǒng)

4.1. 送風(fēng)方式：箱內(nèi)采用單向水平運(yùn)風(fēng)，兩側(cè)風(fēng)道內(nèi)強(qiáng)壓送風(fēng)。

4.2. 風(fēng)道結(jié)構(gòu)：風(fēng)道兩側(cè)采用高密度沖孔風(fēng)板，精準(zhǔn)控制導(dǎo)流板角度，確保箱內(nèi)溫度均勻性。

4.3. 送風(fēng)裝置：采用大功率三相異步耐高溫型長(zhǎng)軸靜音馬達(dá)+大口徑不銹鋼渦輪扇葉，渦輪經(jīng)水平糾正處理，確保運(yùn)風(fēng)平穩(wěn) ，噪聲≤65dB。

4.4. 送風(fēng)裝置安全保護(hù)系統(tǒng)：帶超溫過載過流保護(hù)功能，確保馬達(dá)及風(fēng)機(jī)的使用壽命和安全性能。

4.5電加熱系統(tǒng)：采用覆套式不銹鋼無塵化電熱發(fā)生器，潔凈不產(chǎn)塵(無縫潔凈不銹鋼覆套，高絕緣導(dǎo)熱改性氧化鎂澆筑，無名火，安全不漏電）

5.氧含量控制系統(tǒng)

5.1氮?dú)馀叛蹩刂葡到y(tǒng)采用雙路氮?dú)鈱?dǎo)入回路，各向箱內(nèi)提供100L/min + 200L/min的氮?dú)?，每路配套進(jìn)口電磁閥，雙流量自動(dòng)切換，在箱內(nèi)達(dá)到無氧環(huán)境

后，自動(dòng)切換至低流量氮?dú)?，大大?jié)省氮?dú)庀牧?，也可根?jù)工藝制程要求，自行設(shè)定，滿足多種工藝需求。

5.2 排氧時(shí)間≤30 min，帶耐高溫氧含量控制儀，氧化鋯氧含量傳感器，耐高溫自吸泵一套，可實(shí)時(shí)檢測(cè)氧含量并顯示實(shí)際數(shù)值，配備氧含量超標(biāo)報(bào)警功能。

6.整機(jī)安全保護(hù)系統(tǒng)

6.1. 采用三重超溫保護(hù)系統(tǒng)，確保箱體在運(yùn)行過程中的整體安全性能（詳見技術(shù)參數(shù)）。              

6.2. 箱體內(nèi)部電器保護(hù)系統(tǒng)（確保箱體內(nèi)部電器運(yùn)行平穩(wěn)，安全可靠）：

6.2.1.超溫防止器（獨(dú)立限溫，超溫?cái)嚯姡?/p>

6.2.2.相序保護(hù)（欠壓欠相保護(hù)）；

6.2.3.馬達(dá)過電流保護(hù)；

6.2.4.控制線路保險(xiǎn)絲；

6.2.5.電熱過電流保護(hù)；

6.2.6.無熔絲開關(guān)。

型號(hào)BC-WYX150ABC-WYX360ABC-WYX480ABC-WYX800ABC-WYX1000A溫度范圍RT(常溫）+10~200℃/250℃/300℃ (可訂制最高溫度600℃）溫度分辨率0.1℃溫度波動(dòng)度±1.0℃溫度均勻性≤±1.5%氧含量20ppm/50ppm/100ppm/2000ppm容積180L360L480L800L1000L內(nèi)膽尺寸（寬W*深D*高H）mm600×500×600600×600×1000800×600×10001000×800×10001000×800×1200外部尺寸（寬W*深D*高H）mm960×690×1460960×790×17801160×790×17801320×1050×17801320×1050×1980層板數(shù)量2塊2塊3塊3塊4塊功率5KW7.5KW9KW12KW15KW電源電壓AC 380V 50HZ（三相五線制）無氧烘箱規(guī)格一覽表：

備注： 1. 以上所有機(jī)型外觀尺寸僅供參考，實(shí)際尺寸以實(shí)物為準(zhǔn)；  2. 產(chǎn)品內(nèi)部尺寸可根據(jù)客戶要求進(jìn)行非標(biāo)定制。

選配組件：

1.程序多段控溫：可配置程序型溫度控制器，最大實(shí)現(xiàn)100段程序控溫。

2.測(cè)試孔：可在側(cè)面加裝Φ50mm測(cè)試孔。

3.無紙多點(diǎn)溫度記錄儀：可配置無紙多點(diǎn)溫度記錄儀（4/6/9/12通道），可實(shí)時(shí)監(jiān)控記錄溫度變化.

4.快速降溫功能：風(fēng)冷+水冷。

5.可加裝MES系統(tǒng)。                                                    

                                                                                 雙腔無氧烘箱實(shí)物照片